【摘 要】
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半导体材料的组分不同,决定了其特性的显著差异.为了精确地控制半导材料在生长过程中的气体组分,设计了一种多通道电磁阀控制器.该控制器以单片机为控制核心,具有32个带功率
【机 构】
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南京大学电子科学与工程学院/江苏省光电信息功能材料重点实验室,江苏省电力公司南京供电公司
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半导体材料的组分不同,决定了其特性的显著差异.为了精确地控制半导材料在生长过程中的气体组分,设计了一种多通道电磁阀控制器.该控制器以单片机为控制核心,具有32个带功率放大的直接数字量输出（DO）,可以直接驱动电磁阀从而控制材料生长气路的通断.该控制器可以独立工作,也可以通过RS485接口与上位计算机连接.多个这样的控制器可以进行组合,从而扩展控制规模.与一般的电磁阀控制器相比,抗干扰能力强,设置相对方便.
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