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叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果.
高性能聚焦离子束技术的应用
【摘 要】
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叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2004年9期
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