【摘 要】
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层状物固体润滑薄膜是固体润滑薄膜中最常用的形式,这种薄膜都具有优良的减摩、耐磨、抗擦伤性能。本文介绍了目前主要的硫化钨薄膜的制备方法,并通过射频溅射方法和硫化法制
【机 构】
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东北大学真空与流体工程中心,沈阳华迅真空科技有限公司
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层状物固体润滑薄膜是固体润滑薄膜中最常用的形式,这种薄膜都具有优良的减摩、耐磨、抗擦伤性能。本文介绍了目前主要的硫化钨薄膜的制备方法,并通过射频溅射方法和硫化法制备了硫化钨薄膜,对各种制备方法进行了对比。通过溅射方法获得的硫化钨薄膜的化学成分会随工作压力和溅射功率发生变化,同时薄膜的结晶率不高,而非晶态WS2薄膜的摩擦性能具有不确定性。但目前溅射方法仍是固态硫化钨薄膜最主要的制备方法。而通过硫化WO3薄膜获得的WS2薄膜,可以通过调整硫化温度和保温时间来获得具有较好的结晶性和有利的晶粒取向,从而提高薄膜的摩擦学性能。通过这种方法获得的WS2薄膜的一些其它性能,尚需作进一步研究。
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