【摘 要】
：
日本富士通公司研制成用256Mb～1GbDRAM的高性能抗蚀剂。1GbDRAM中要求有0．2m以下的线宽，而为了实现其微细图形，把混合气体的ArF用于激光器光源的准分子光刻是不可缺少的。现所开
论文部分内容阅读
日本富士通公司研制成用256Mb～1GbDRAM的高性能抗蚀剂。1GbDRAM中要求有0．2m以下的线宽，而为了实现其微细图形，把混合气体的ArF用于激光器光源的准分子光刻是不可缺少的。现所开发的抗蚀剂最早达到世界实用水平，并已应用于ArF光刻。日本富士通公司开发1Gb DRAM用的抗蚀剂@
Japan’s Fujitsu company developed with 256Mb ~ 1GbDRAM high performance resist. 1GbDRAM requires a linewidth of 0.2 m or less, and in order to realize its fine pattern, it is indispensable to use an ArF of a mixed gas for excimer laser of a laser light source. Now the development of the first to resist the world’s practical level, and has been applied to ArF lithography. Fujitsu Japan to develop 1Gb DRAM for Resist @
其他文献
ＡＮｅｗＣｏｎｃａｔｅｎａｔｅｄＣｏｄｉｎｇＳｙｓｔｅｍＵｓｉｎｇＭｕｌｔｉｌｅｖｅｌＩｎｎｅｒＣｏｄｅｓＷａｎｇＤｕａｎｙｉＡＮＤＹｕｅＧｕａｎｇｘｉｎ（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＴｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｂｅｉｊｉｎ...
ANewConcatenatedCodingSystemUsingMultilevelInnerCodesWangDuanyiANDYueGuangxin (DepartmentofTelecommunicationEngineering, Beij
“让步”这一概念在英语语法中可以用从属连词、介词、复合介词、分词短语或其它特殊结构加以表达,但这些词语和结构在意义上和用法上不尽相同,笔者通过参阅国内外一些语法
日本 概述 自泡沫经济毁灭以来,已经过去两年了,日本经济没有表现出任何恢复的迹象。然而,尽管近来情况艰难,日元仍旧坚挺,日本在贸易平衡中仍保持着有力地位。另一方面,很
科技书讯安民告示技术转让电子市场科技书讯《录像机使用与维修技巧》即将出版《录像机使用与维修技巧》一书预计在1993年四季度面市。该书以问答的型式对录像机的视频磁头及
韩国各半导体公司正在建立半导体生产的体制。三星电子公司已于1994年9月完成月产360万块16MDRAM专用生产线。月产36O万块的工厂也将于1995年下半年建成。为此，与目前正在运行
在刘三姐的故乡——风景区祥贝,用“饮管”饮完了“中外驰名,誉称魔水”的中国天然植物饮料奇峰维力,看到上面写着: 保持环境清洁 请勿乱抛空包 DISPOSE OF PROPERLY 大声
林木由于生命周期长,且广泛存在异体受精,杂合性很高,这给常规育种带来一系列困难。无论是纯系的获得,控制杂种分离,还是选择时排除显隐性干拢,以及对林木经济性状遗传规律
立木材积表是森林调查中用以计算林分蓄积量的主要辅助用表之一,它直接影响着森林调查成果的精度。在我国目前的森林资源清查工作中,通常以一个省或一个林区为单位,分树种编
本届世界杯足球赛让国内微博迎来新一轮热潮,国内广告主应该尽快对于微博这样的社会化媒体拿出更为积极的规划与策略来。
The current World Cup football microblogging us