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为减小VDMOS的反向传输电容，设计了三种体内结构与常现VDMOS相同而表面结构不同的器件实验结果表明，三种结构器件的反向传输电容与常规VDMOS相比都有较大幅度的降低，在Vds＝10V时，分别下降了36％、56％和72％
减小VDMOSFET反向传输电容的研究
【摘 要】
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为减小VDMOS的反向传输电容，设计了三种体内结构与常现VDMOS相同而表面结构不同的器件实验结果表明，三种结构器件的反向传输电容与常规VDMOS相比都有较大幅度的降低，在Vds＝10V时，
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所!西安,710071,西安电子科技大学微电子研究所!西安,710071,西安电子科技大学微电子研究所!西安,710071
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1998年08期
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