在生产线上用电荷耦合器件(CCD)阵列非接触测量复杂的几何量

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1.CCD-图象传感器象其它电子图象传感器一样,具有自扫描功能的 CCD 图象传感器能将光能量转换成电荷,并能存贮和按时序读出。现代的线阵组件原理如图1所示。在硅基结上的微小光敏存贮区可以是一些光电二极管、MOS 电容式或者是二者的结合,它们以很高的几何精度形成象素阵列,有效面积至少为 1. CCD-Image Sensors Like other electronic image sensors, self-scanning CCD image sensors convert light energy into electrical charges and are stored and read in time series. The principle of modern linear array components shown in Figure 1. The tiny photoactive storage area on the silicon substrate may be photodiodes, MOS capacitors or a combination of the two which form a pixel array with very high geometrical accuracy with an effective area of ​​at least
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