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介绍了一种采用微电子机械系统(MEMS)的新型微型气相色谱仪,重点介绍了微进样系统、微热导检测器(TCD)的设计和制做技术。通过微细加工技术.将微通道、微阀、微检测器等三维器件像IC芯片一样集成在硅片上,并将这些关键器件和常规的毛细管分析柱连用,达到快速、高灵敏度和经济的样品分析。该仪器具有便于携带、功耗低、能在线分析、使用简单等特点。