论文部分内容阅读
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。
用于微型、纳米卫星三维作图的微型多来电子束曝光系统研究
【摘 要】
：
采用微型多束电子束曝光手段研制微型、纳米卫星所用ＭＥＭＳ和ＡＳＩＭ分系统，具有灵活、迅速和设备费用较低的优点。本文介绍一台四束微型电子束曝光系统的总体方案、电子光柱计算、结构设计和扫描电路实验。四条电子束一条适用于微型机械直接光刻，两条适用于ＶＬＳＩ和ＭＭＩＣ，第四条适用于光集成电路。
【机 构】
：
永泉研究所北京研究发展部,北京大学无线电电子学系
【出 处】
：
仪器仪表学报
【发表日期】
：
0年YQXB6S1.090期
其他文献
“后泡沫”时代从本质上改变了风险投资的前景，风险投资公司需要提供更广泛的技术和服务支持，以满足被投资企业的需求。时至今日，主要的风险投资公司都避免进行盲目的交易或者投
企业的成功经验是企业持续成功的最大障碍，面对这样一种情况，我们的高层管理者应该时刻保持清醒的头脑，从更长的时间跨度和更广的空间角度考虑问题，随时了解市场环境和企业内部的
The Global boundary Stratotype Section and Point （GSSP） of the Tortonian Stage （Upper Miocene） at Mo
The GSSP of the Tortonian Stage, which per definition marks the base of the Tortonian and, hence, the boundary between the Serravallian and Tortonian Stages of
学生口语能力从小的培养,存在着不同程度的难点,对于每个学生来说特别重要,尤其是小学生,小学生的口语交际能力培养的难度更大,农村小学生难度更明显。
摘要：近年来，随着各项管理体制改革和推进，我国事业单位正朝着合理和完善的方向发展，对事业单位内部控制提出更高的要求。其中，会计制度管理在事业单位内部控制建设中起着至关作用。根据本人多年的工作经验，就事业单位会计与内部控制之间关系的构建进行研究分析，以便于能及时的发现其所存在的问题，进而提出相关的解决措施。 关键词：事业单位；会计与内部控制；关系；建设 一、事业单位会计与内部控制关系的建设当中所
广船国际,一个响亮的名字,在华南乃至全国造船界里都可以说是无人不晓。作为中国首家造船上市公司,广船国际有限公司建造的豪华客滚船、半潜船和极地船等高端船舶闻名遐迩。
物流体系是现代农业发展的必然环节和基本保障。从我国农产品物流存在的问题入手，提出了构建我国的农产品现代物流体系的对策建议。
根的抗拉强度是根系对边坡加固作用的影响因素之一,是衡量根系防护作用的一个重要指标,所以准确地测出植物根系的抗拉强度对于定量研究植物根系的防护作用有着很大的影响。文