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用低压化学气相淀积的方法制备了欧姆接触的样品,分别对退火前后的样品采用两种测量方法线性传输线模型和原点传输线模型法进行测试分析,得出在制备工艺相同的条件下,从精度上看,线性传输线模型这种测试结构更能真实地反映实际的比接触电阻率的大小.
两种欧姆接触电阻率测量方法的研究
【摘 要】
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用低压化学气相淀积的方法制备了欧姆接触的样品,分别对退火前后的样品采用两种测量方法线性传输线模型和原点传输线模型法进行测试分析,得出在制备工艺相同的条件下,从精度
【机 构】
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佳木斯大学理学院
【出 处】
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佳木斯大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年5期
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