【摘 要】
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With the characteristics of laser wide band and short wavelength,China Institute of Atomic Energy“Heaven-Ⅰ”UV excimer laser system can get the beam whose non
【机 构】
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Department of Nuclear Technology Application,
【出 处】
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Annual Report of China Institute of Atomic Energy
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With the characteristics of laser wide band and short wavelength,China Institute of Atomic Energy“Heaven-Ⅰ”UV excimer laser system can get the beam whose non-uniformity is lessthan 2%,based on the echelon free induced spatial incoherence technology(EFISI)smoothing method.We established the mathematical model of partially coherent light,and studied the uni-
With the characteristics of laser wide band and short wavelength, China Institute of Atomic Energy “Heaven-I” UV excimer laser system can get the beam whose non-uniformity is lessthan 2%, based on the echelon free induced spatial incoherence technology ( EFISI) smoothing method. We established the mathematical model of partly coherent light, and studied the uni-
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