【摘 要】
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为了改善现有CO2激光器工频LC谐振充电时充电电压随激光器工作频率升高而降低、影响激光输出的稳定性和光束质量,不利于装置的小型化和轻量化的问题.采用全桥逆变结构和串联
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
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为了改善现有CO2激光器工频LC谐振充电时充电电压随激光器工作频率升高而降低、影响激光输出的稳定性和光束质量,不利于装置的小型化和轻量化的问题.采用全桥逆变结构和串联谐振软开关电路,研究了 36kV/10kW 高频高压充电电源.该电源系统采用三相380V 交流电作为供电系统,大功率智能功率模块作为全桥逆变电路.逆变交流信号经串联谐振电路及高频脉冲变压器得到高压脉冲信号,高压脉冲经整流给负载电容充电,电源应用电压电流双闭环控制系统,输出电压、电流经采样及放大后, 反馈到电源控制芯片SG3525, 芯片SG
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