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研究了ＴｉＮ薄膜的阳极氧化。结果表明，在稀磷酸溶液中对ＴｉＮ薄膜进行阳极氧化处理后，在ＴｉＮ表面形成一层氧化膜。氧化膜呈干涉色，其颜色随槽压变化；氧化膜色调均匀，耐磨性好。ＸＰＳ及ＡＥＳ分析结果表明，氧化膜由ＴｉＯ２组成，且在槽压在９Ｖ时膜厚约９０ｎｍ。
TiN薄膜的阳极氧化研究
【摘 要】
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研究了ＴｉＮ薄膜的阳极氧化。结果表明，在稀磷酸溶液中对ＴｉＮ薄膜进行阳极氧化处理后，在ＴｉＮ表面形成一层氧化膜。氧化膜呈干涉色，其颜色随槽压变化；氧化膜色调均匀，耐磨性好。ＸＰＳ及ＡＥＳ分析结果表明，氧
【机 构】
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沈阳化工研究院,北京科技大学
【出 处】
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电镀与精饰
【发表日期】
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1998年5期
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