【摘 要】
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利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。采用扫描电子显微镜（SEM）及选区电子能谱（EDS）对镀层进行了表征,当化学镀时间为15min时,所得到的镀层厚
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所,中国科学院重庆绿色智能技术研究院,中国科学院大学
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利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。采用扫描电子显微镜（SEM）及选区电子能谱（EDS）对镀层进行了表征,当化学镀时间为15min时,所得到的镀层厚度约为130nm。对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35min时得到的镀层电阻率约为80×10^-9Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10^-9Ω·m的5倍。利用这种方法,我们制备了总长度为28.75μm、周期为2.93μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈
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