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14 建模与模拟14．1范围建模与模拟技术覆盖被称为扩展TCAD的半导体建模区域，它是数个使能方法之一，可以减少开发周期和成本。本文中的扩展TCAD覆盖下列典型区域，如图MS1所示：
国际半导体技术发展路线图（ITRS）2013版综述（4）
【摘 要】
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14 建模与模拟14．1范围建模与模拟技术覆盖被称为扩展TCAD的半导体建模区域，它是数个使能方法之一，可以减少开发周期和成本。本文中的扩展TCAD覆盖下列典型区域，如图MS1所示：
【机 构】
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工业和信息化部电子科学技术情报研究所,北京理工大学光电学院
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2014年12期
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