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本文通过对荣华二采区10<
Heuristic tabu search scheduling algorithm for wet-etching systems in semiconductor wafer fabricatio
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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School of Mechanical Engineering, Tongji University, Shanghai 201804, P.R.China“,”Department of Syst
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2013年2期
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