论文部分内容阅读
应用材料公司日前宣布推出业界首款在线3D扫描电子线宽量测系统，成功解决了针对高纵横比和3DNAND及FinFET等复杂功能器件量测方面的挑战。这款名为VeritySEM5i的量测系统借助尖端高清晰度成像技术和背散射电子（BSE）技术，能实现卓越的在线线宽控制。通过使用VeritySEM5i系统，芯片制造商能显著加快工艺开发和产能扩张速度，同时提高器件性能，实现大批量生产。