氩气压强对不锈钢衬底NiCr薄膜性能的影响

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采用射频磁控溅射技术在不锈钢基底上制备NiCr金属薄膜,研究不同的氩气压强对样品形貌和光学、附着力性能的影响。结果表明:所制备的NiCr薄膜在中远红外区都具有较高的反射率,平均值约为0.92,附着力级别均能达到5B;氩气压强对薄膜的性能具有较大的影响,具体表现为:随着压强的增大,薄膜的结晶度先上升后下降,均匀性先变好后变坏,在压强为4Pa时薄膜质量最好。
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