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<正> 直拉(CZ)硅单晶中的氧杂质在器件制造的热处理工艺中,结合原生微缺陷或其它杂质原子,形成氧沉淀,严重影响着硅材料的器件的质量,引起了人们的重视.近年来,研究者对氧沉淀的形核、生长、形态和杂质原子的关系等方面,进行了广泛的探索.在硅晶体经历高温
微氮硅单晶中新的氧沉淀形态
【摘 要】
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<正> 直拉(CZ)硅单晶中的氧杂质在器件制造的热处理工艺中,结合原生微缺陷或其它杂质原子,形成氧沉淀,严重影响着硅材料的器件的质量,引起了人们的重视.近年来,研究者对氧沉
【机 构】
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浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室,浙江大学分析测试中心
【出 处】
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自然科学进展
【发表日期】
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1993年2期
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