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高温超导氧化物YBCO外延薄膜在掺入少量锆酸钡（BaZrO3，BZO）后，其超导性能会得到较大幅度的提高。研究了不同衬底温度对掺BZO的YBCO薄膜的外延特性及超导性能的影响。以固相反应法制备了YBCO及BZO原材料，利用固相烧结工艺制备了BZO含量为2％（质量分数）的YBCO-BZO复合靶材，采用脉冲激光沉积技术（PLD）在LaAlO3（100）基片上外延生长YBCO薄膜。以不同的衬底温度制备了YBCO薄膜，用x射线衍射和高分辨透射电子显微技术对所制备的YBCO薄膜的外延特性进行了分析。最后比较了在不同