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【摘 要】
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选用三层三相多晶硅交迭栅结构,采用埋沟工艺研制出了512×320位CCD帧传输固体图像传感器。它也可作各种用途的数字信号处理器。本文就器件设计考虑和工艺参数作了简介。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1987年2期
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