【摘 要】
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本系统包括一个光学样品室和一个深紫外二极管列阵分光光度计。光学样品室由一对棱镜和一对凸面透镜组成。棱镜和凸面透镜以反射模式工作,而不是以通常的透射模式工作,因此,
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本系统包括一个光学样品室和一个深紫外二极管列阵分光光度计。光学样品室由一对棱镜和一对凸面透镜组成。棱镜和凸面透镜以反射模式工作,而不是以通常的透射模式工作,因此,它们的作用就象反射镜一样。这可以使紫外光束以一个几乎成法向的入射角会聚在半导体晶片表面上,从而引入光点尺寸小、深度大的聚焦点。位于氘灯前面的一个聚光透镜慢慢地减小光束直径。
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