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为CMP提供消耗品的供应商正在开发新的方法,在维持研磨去除率不变的情况下,改善平整度和缺陷率,同时降低成本,来满足未来应用的要求。
CMP工艺参数改进
【摘 要】
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为CMP提供消耗品的供应商正在开发新的方法,在维持研磨去除率不变的情况下,改善平整度和缺陷率,同时降低成本,来满足未来应用的要求。
【机 构】
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ContributingEditor
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年11期
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