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用磁控溅射离子镀在试件上先镀一层铝镀层，再真空气相化学沉积一层Parylene（聚对二甲苯）聚合物，与在试件上先真空气相化学沉积一层Parylene聚合物，再磁控溅射离子镀一层铝镀层，两种方法制备出铝加Pary—lene和Parylene加铝的两种复合涂层。本文对这两种复合涂层划痕、磨损实验进行了研究，并运用EDX、SEM形貌等方法进行了复合涂层特性对比分析。得出铝加Parylen和Parylen加铝复合涂层都有低的透湿性，但前种复合涂层较后种复合涂层有较强的防腐、耐磨性和自润滑性能。