GaN次接触层对SiC光导开关欧姆接触的改进研究

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大功率SiC光导开关存在接触电阻过高、接触退化的问题。为此,在接触金属与SiC基片之间增加一层n+-GaN次接触层,光导开关的导通电阻随之下降两个数量级,而光电流效率增加两个数量级。
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