【摘 要】
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利用圆光栅莫尔技术,获得高精度的角度分度基础,已被广泛地应用,但是,大多数所用的圆光栅元件都是六一十进制的。在我们的具体工作中,为了能实现与80倍电子细分线路相配合,
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利用圆光栅莫尔技术,获得高精度的角度分度基础,已被广泛地应用,但是,大多数所用的圆光栅元件都是六一十进制的。在我们的具体工作中,为了能实现与80倍电子细分线路相配合,得到0″.36数频分辨率的测角系统,提出在原东德OFD圆刻机上,实现节矩角为
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