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一、引言随着微电子技术的发展，小型化，集成化已成为重要发展方向。薄膜制备技术的发展对推动现代半导体技术的进步和新型器件的开发正显示出越来越重要的作用。钛酸锶（SrTiO3）属于钙钛矿结构，具有高介电常数，低介电损耗等特点，其薄膜材料在PTC、热敏电阻、加热元件、晶界层陶瓷电容器、微波、消磁元件以及下一代CMOS集成电路等领域有着十分广泛的应用。