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<正> 本文介绍日本立石公司技术本部中央研究所的后藤博史等人研究开发的小型光扫描装置(微型扫描器)及其在传感器中的应用。
微型光扫描器在传感器中的应用
【摘 要】
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<正> 本文介绍日本立石公司技术本部中央研究所的后藤博史等人研究开发的小型光扫描装置(微型扫描器)及其在传感器中的应用。
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1997年1期
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