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利用扫描探针显微镜考察了硅基材料的摩擦磨损性能，同时考虑了环境因素、循环扫描次数的影响；通过实验设计，得出了该材料表面的形貌，初步分析了其摩擦磨损性能。结果表明：压电陶瓷的滞后效应和非线性效应的影响比较显著；随着外界湿度的增加，湿度对材料表面黏附力和摩擦系数有较大的影响；外加载荷和扫描循环次数直接决定材料表面的耐磨性能。