【摘 要】
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本文综合介绍近20年来被检件在真空及压力条件下用质谱仪测量微小漏率(或流量)的一些有代表性的方法,包括我们前期研制成功的一种测量微漏率的新方法——峰值法。对这些测量
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本文综合介绍近20年来被检件在真空及压力条件下用质谱仪测量微小漏率(或流量)的一些有代表性的方法,包括我们前期研制成功的一种测量微漏率的新方法——峰值法。对这些测量方法的原理、装置、性能和使用等进行系统叙述和分析。 质谱检漏仪事实上是一种最灵敏的检漏仪器。任何?
This article summarizes several representative methods for measuring the micro-leak rate (or flow rate) with a mass spectrometer under vacuum and pressure over the past 20 years, including a new method of measuring the micro-leak rate that we developed earlier - - peak method. The principle, device, performance and use of these measurement methods are systematically narrated and analyzed. MS leak detector is in fact the most sensitive leak detector. any?
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