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近年来,随着通信和侦察技术向更高频率发展,对诸如频谱分析仪、扫频信号源和网络分析仪等测试计量仪器提出了更高的要求。众所周知,作为这些微波测试计量仪器中的关键部件,薄膜混合集成电路是测试仪器向40 GHz以上发展的一个主要难点。微波毫米波工程中大量使用薄膜混合集成电路,这些电路是由多种材料组成的多膜层结构。研究了多层微波薄膜电路的材料性能、膜层结构特征及制作过程的工艺控制方法。还给出试验结果,并作了简单讨论,这对于微波和毫米波元器件的设计和应用有着一定的参考价值。