【摘 要】
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Since the discovery of high T_c super-conductor, much effort was made toits application. More and more evidencehas revealed that most promising fieldof high T_
【机 构】
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Institute of Metal Research Academia Sinica Shenyang China.,Institute of Metal Research Academia Si
【出 处】
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Journal of Materials Science & Technology
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Since the discovery of high T_c super-conductor, much effort was made toits application. More and more evidencehas revealed that most promising fieldof high T_c superconductor first to havesuccess must be the microelectronics andcomputer. Superconductor films for mi-croelectronic application are preparedby PVD method, such as electron beamevaporation, pulsed laser evaporation andmagnetron sputtering. In this paper, thepreliminary results of ion beam sputteringdeposition of YBaCuO film are reported
Since the discovery of high T_c super-conductor, much effort was made to applications. More and more evidence was revealed that most promising field of high T_c superconductor first to have access must be microelectronics and computer. Superconductor films for mi-croelectronic applications are prepared by PVD method, such as electron beamevaporation, pulsed laser evaporation andmagnetron sputtering. In this paper, the preliminary result of ion beam sputtering deposition of YBaCuO films are reported
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