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本文针对现有实验中需要测量亚真空系统的气体成分的需求,根据残余气体分析仪的工作状态,设计了亚真空在线气体检测系统,通过模拟仿真细化完善设计,确定了系统的减压结构的参数,同时通过实验验证了亚真空环境在线气体检测系统系可以在几百至上千帕的环境中,长时间有效地对相应腔体中的气体进行在线检测。
亚真空环境中在线气体检测系统
【摘 要】
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本文针对现有实验中需要测量亚真空系统的气体成分的需求,根据残余气体分析仪的工作状态,设计了亚真空在线气体检测系统,通过模拟仿真细化完善设计,确定了系统的减压结构的参
【机 构】
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核工业理化工程研究院,核工业理化工程研究院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2019年15期
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