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PSG膜是最早应用于半导体器件的表面钝化技术,随着电子工业的发展,逐渐应用于掺杂技术和表面平坦化技术,本文对这三方面的应用作简要分析。
PSG膜的潜力
【摘 要】
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PSG膜是最早应用于半导体器件的表面钝化技术,随着电子工业的发展,逐渐应用于掺杂技术和表面平坦化技术,本文对这三方面的应用作简要分析。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1990年4期
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