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本论文采用虚拟仪器技术开发SPM通用平台,为SPM的设计提供了一种新方法,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系.此平台能迅速扩展仪器的功能和种类.其硬件采用PXI平台,软件采用LabVIEW平台,包括LabVIEW FPGA模块、LabVIEW实时模块和PID模块等.系统具有开发周期短,开发成本低,维护方便,易于应用新理论、新算法和新技术等优点.