【摘 要】
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用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×1020/cm3.利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能.结果表明:薄膜
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用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×1020/cm3.利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能.结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30 GPa,弹性模量约为419 GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4 N.比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反.
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