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1、引言 电荷转移器件(Charge TranSfer deviCe)是近10年来获得迅速发展的新型固态图象检测器。它有两大类:电荷耦合器件(CCd)及电荷注入器件(Cid)。它们都是以金属氧化物半导体(moS)技术为基础的光敏元件[1][2]。它们的光生电荷量与入射光的强度呈线性关系。由于研制成固态电视和开