【摘 要】
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日本特开昭61-079760A,利用蒸发的金属铝和反应气体氧,通过在特定条件下的活性反应离子电镀法,在基体上覆盖努普硬度值高于2000的硬氧化铝膜,离子镀条件:电子枪输出10kv,500
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日本特开昭61-079760A,利用蒸发的金属铝和反应气体氧,通过在特定条件下的活性反应离子电镀法,在基体上覆盖努普硬度值高于2000的硬氧化铝膜,离子镀条件:电子枪输出10kv,500～550mA,氧气压力9.3～13.3×10~(-3)P_5,基体电压0.3
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