【摘 要】
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引言在真空镀膜中采用压电石英控制薄膜厚度,可以达到精度高、重复性好,还能实现任意膜层厚度的控制。曾利用此方法制备了相位滤频片,紫外窄带干涉滤光片,1.06μ消反射、高
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引言在真空镀膜中采用压电石英控制薄膜厚度,可以达到精度高、重复性好,还能实现任意膜层厚度的控制。曾利用此方法制备了相位滤频片,紫外窄带干涉滤光片,1.06μ消反射、高反射和具有特定反射率等膜系。还曾应用于有机化学材料(乙基含氢硅油)的薄膜厚度控制。
Introduction In the vacuum coating using piezoelectric quartz control film thickness, you can achieve high precision, good repeatability, but also to achieve any film thickness control. This method has been used to prepare a phase filter film, UV narrowband interference filter, 1.06μ anti-reflection, high reflectivity and has a specific reflectivity and other membrane systems. Also used in organic chemistry materials (ethyl hydrogen silicone oil) film thickness control.
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