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正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。过去，弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型。但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系。从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发，提出了新的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼解析计算模型，导出了解析形式的等效阻尼系数和等效刚度系数。这两个系数完全由梁和挤压膜气体的物理性质决定。最后，通过与Vignola实验结果、Darling模型计算结果、AN-SYS／FLOTRAN计算结果相比表明，所提出模型的计算精度有较明显的提高。