【摘 要】
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本发明涉及一种简便而有效地制备锆钛酸钡（BZT）薄膜的湿化学制备技术，属于功能陶瓷薄膜领域。前驱液以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料，以乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮和冰醋酸为稳
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本发明涉及一种简便而有效地制备锆钛酸钡（BZT）薄膜的湿化学制备技术，属于功能陶瓷薄膜领域。前驱液以醋酸钡、丙醇锆、钛酸丁酯为原料，以乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮和冰醋酸为稳定剂，按Ba∶Zr∶Ti=∶1∶X∶(1-X)克分子浓度配比（0≤X≤1）制备BZT功能薄膜的前驱液，浓度为0．2－0．3M，然后经过滤后成膜、甩胶、甩胶速度为3000－4000r/min，时间30s，然后预处理，经多次成膜－预处理－再成膜，达到需要厚度后于650－750℃氧气氛下退火制成。用本发明制备的无铅BZT功能薄膜具有良好的介电
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