【摘 要】
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扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理、化学、生物等领域得到了越来越广泛的应用。我们研制了一个ＡＦＭ／ＳＴＭ系统，它利用隧道电流检测微悬臂的位移，既可
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扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理、化学、生物等领域得到了越来越广泛的应用。我们研制了一个ＡＦＭ／ＳＴＭ系统，它利用隧道电流检测微悬臂的位移，既可用作ＡＦＭ，又可作为ＳＴＭ。本文介绍了这个系统的微悬臂的设计和研制。实验表明，这种微悬臂使系统可以达到纳米量级的分辨率。
Scanning tunneling microscopy (STM) and atomic force microscopy (AFM) are gaining more and more widespread use in the field of surface physics, chemistry and biology due to the resolution of the order of magnitude. We developed an AFM / STM system that uses tunneling currents to detect micro-cantilever displacement, both as an AFM and as an STM. This article describes the system design and development of micro-cantilever. Experiments show that this micro-cantilever allows the system to achieve nanometer-scale resolution.
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