【摘 要】
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Hydrogenated films of SiC, SiN and Si_2O are widely studied for the use of optoelectronics andprotective coating. It is important to know the atomic concentrat
【出 处】
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Annual Report for China Institute of Atomic Energy
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Hydrogenated films of SiC, SiN and Si_2O are widely studied for the use of optoelectronics andprotective coating. It is important to know the atomic concentration profile of the components and thecontandnants in the films for understanding the transport mechanism of these elements during varioustreatments like annealing, ion implantation, etc. The advantage of elastic recoil detection analysis
Hydrogenated films of SiC, SiN and Si 2 O are widely studied for the use of optoelectronics and protective coating. It is important to know the atomic concentration profile of the components and the condensers in the films for understanding the transport mechanism of these elements during varioustreatments like annealing, ion implantation, etc. The advantage of elastic recoil detection analysis
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