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中国半导体材料研究工作起步于1957年,至今,已走过了近半个世纪的发展历程。目前国内从事Si材料研究与生产的单位已有20多家,主要生产厂家及产品种类见表1。近10年来,我国硅单晶产量一直保持着持续增长的势头,到2001年硅单晶及其加工片的产量达400吨,2亿平方英寸,分别比"九五"初期的1996年增长140%和145%。