【摘 要】
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随着纳米制造技术的发展,微机电系统与纳米光子技术相结合,形成了国际前沿的纳米光机电系统(NOEMS),在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛.但重构单元的
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随着纳米制造技术的发展,微机电系统与纳米光子技术相结合,形成了国际前沿的纳米光机电系统(NOEMS),在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛.但重构单元的小型化与提高调制深度之间不能兼顾,这大大限制了光机电调制的对比度,并导致亚微米像素的空间光调制存在技术瓶颈.最近,北京理工大学李家方、张向东、姚裕贵教授团队,与中国科学院物理研究所李俊杰和顾长志研究员、麻省理工学院方绚莱教授团队合作,发展了一种片上纳米光机电调控新技术.
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