【摘 要】
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一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵(型
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一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵(型号 PIP1146)提供的,它是电子直线加速器重要部件之一。它的结构是由一个圆柱形阳极,一对钛阴极板(在阳极的两侧各一个),
First, the structural principle: Titanium sputtering ion pump is ultra-high vacuum device. Structurally it is sealed with the electron gun, accelerator tube, deflection box and target chamber as a whole (see Figure 1). The entire system is under very high vacuum, and the vacuum is provided by a titanium sputter ion pump (model number PIP1146), which is one of the key components of the electron linear accelerator. Its structure is composed of a cylindrical anode, a pair of titanium cathode plates (one on each side of the anode)
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