表面处理对n-GaN上无合金化Ti／Al欧姆接触的作用

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tyxtry88

【摘要】

：

本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合金化的Ti/Al

【作者】

：

刘磊陈忠景何乐年

【机构】

：

浙江大学信息与电子工程学系

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

N-GAN 欧姆接触表面处理 Ti/Al电极 Ⅲ-V族半导体材料 n-type GaN Ohmic contact Surface treatment

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合金化的Ti/Al电极,可得到较低的(4.85～5.65)×10-4Ω·cm2的接触电阻率,而且材料的发光特性也有明显提高.

其他文献

直流磁控溅射在铝衬底上沉积（TixAly）N薄膜及其性能研究

本文利用独立钛靶,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜。借助于X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量,通过光学

期刊

磁控溅射(TixAly)N薄膜性能Magnetron sputtering （TixAly）NThin film Property

CVD金刚石膜紫外光探测器

宽禁带半导体金刚石具有许多独特特性，基于此种材料的紫外光探测器能在高温、强腐蚀和强辐射等恶劣环境下工作，成为近年来紫外探测技术研究的重点课题之一。本文综述了CVD金刚

期刊

金刚石膜紫外光探测器性能Diamond film UV Detector Performance

建筑工程材料的质量控制分析

我国建筑工程材料品种、规格五花八门,再加上新材料的不断涌现,使得建筑工程材料的质量性能与技术要求纷繁复杂,这对其质量控制提出了很高的要求。由于工程材料对于建筑工程

期刊

质量控制进场前质量控制材料质量验收件

推拿加热敷治疗肩背肌筋膜炎52例临床观察

目的：观察推拿加热敷治疗肩背肌筋膜炎的临床疗效。方法：将104例肩背肌筋膜炎患者随机分为两组，治疗组52例采用推拿配合热敷治疗；对照组52例采用口服消炎痛治疗。结果：总有效率治

期刊

推拿热敷肩背肌筋膜炎

低温处理温度对GaAs光电阴极激活结果的影响

进行单晶基片和分子束外延（MBE）片两种GaAs（100）光电阴极材料高、低温激活实验，高温处理温度为600℃，低温处理温度分别为580℃、450℃和410℃，阴极每次激活后都利用多信息量测试系统

期刊

GAAS光电阴极加热处理阴极材料光谱响应曲线GaAs photocathode Thermal desorption Photocathode ma

电子束蒸发法制备掺钇稳定氧化锆薄膜的光学特性研究

利用电子束蒸镀方法在单晶硅和石英玻璃上制备了掺不同Y2O3浓度的掺钇稳定ZrO2薄膜（YSZ）,用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电子显微镜和透射光谱测定薄膜的结构、表面特性和光

期刊

YSZ薄膜退火表面粗糙度激光破坏阈值YSZ films Annealing Surface roughness Laser induced dam

表面处理对n-GaN上无合金化Ti／Al欧姆接触的作用

其他学术论文