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纳米长度的计量和检测是纳米技术研究中的一个关键性的基础测试问题.目前,纳米计量和检测技术主要向两个方向发展,一是发展建立在新概念基础上的一些测量技术,如以原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜技术;二是采用传统的测量方法,通过提高其功能而达到纳米计量和测量的要求,这包括扫描电子显微镜、透射电子显微镜、软X射线显微镜、轮廓仪、激光共聚焦显微镜、激光干涉仪、电容测微仪等.本文将对扫描电镜用于微米、纳米尺度的测量及其标准化进行探讨。