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来源 :高压物理学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
叙述了在GLZ-100E工业离子注入机上采用20-60keV氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。XRS分析表明,注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的含氮混合物层。高温差热分析的
【作 者】
:
李鹏远
耿漫
【机 构】
:
核工业西南物理研究院粒子束中心
【出 处】
:
高压物理学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
人造金刚石
离子注入
热稳定性
高能
氦离子
syntheticdiamond
ionimplantation
heatresistance.
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