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为提高旋转圆筒内含氟酰基沉积物气化反应中三氟化溴(BrF3)的利用率,本文设计了静态反应极限实验、工作条件优化实验以及多级回收复用工艺实验.静态反应极限实验证明B r F3与沉积物之间可完全反应,且气化反应速率与BrF3压强呈正比关系,沉积物与BrF3之间化学反应动力学方程的反应级数大于1;改变旋转圆筒压强条件,增大了BrF3滞留质量和圆筒温度,BrF3一次利用率由3.75％ 提高至9.20％;采用多级回收复用工艺流程,BrF3综合利用率提高至78.57％,大幅提升了气化技术的工业应用经济性.