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以无机盐为原料，用溶胶-凝胶技术在Si（111）衬底上制备（100）取向MgO薄膜。镁硝酸盐的冰醋酸溶液加热回流转化形成的Mg（CH3COO）2，与乙酰丙酮（AcAc）分子形成环状螯合物Mg（CH3COO）2-x（AcAc）x可抑制Mg^2＋离子的过度水解，经水解形成的Mg（OH）2-x（AcAc）x羟基聚合形成镁的羟基簇状结构溶胶。丙三醇（GL）防止羟基镁过度聚合，聚乙烯醇（PVA）分子中强极性基团-OH和金属离子螯合或化学吸附，使镁的羟基簇状结构溶胶具有线状或网状结构，易于成膜。有机添加剂也会使MgO